日本AMAYA株式會社天谷制作所
連續(xù)常壓CVD設備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池AMAX1000S
連續(xù)常壓CVD設備，用于批量生產(chǎn)兼容125mm方形和156mm方形的太陽能電池
AMAX1000S
156 毫米方形 1500 張/小時吞吐量
采用SiC托盤防止重金屬污染的對策，以及通過改善托盤支架防止背面環(huán)繞的措施
特征
可以使用滿足太陽能電池生產(chǎn)需求的超批量生產(chǎn)設備運輸156mm x 156mm方形基板和125mm x 125mm方形基板。
我們開發(fā)了可實現(xiàn)批量生產(chǎn)的專用分散頭，以及實現(xiàn)超高速輸送的雙臂輸送機構。 此外，還增加了燈管加熱機構，以實現(xiàn)超高速和晶圓溫度均勻性。
我們開發(fā)了一種特殊的晶圓支架，用于高效加熱太陽能電池的薄晶圓。
卸料器部分使用多級Bernui卡盤來分離晶圓和托盤，并且還具有冷卻功能。
性能
| 均勻的薄膜厚度 | ≦±10.0% |
|---|---|
| 支持的晶圓尺寸 | 156毫米方形，125毫米方形 |
| 氣體種類 | SiH4，O 2， PH3， B 2 H6， N 2 |
| 薄膜沉積溫度 | ~430°C |
| 生產(chǎn)力 | 1500張/小時 |
主要規(guī)格
| 設備尺寸 | 1860毫米（寬） x 5900毫米（深） x 2100毫米（高） |
|---|---|
| 加熱機構 | 電阻加熱和燈加熱 |
| 裝載卸載 | 裝載：卡盤，卸載：伯努利卡盤 |
| 分散頭（氣體噴嘴） | A63 長頭（標準 3 頭） |